GB50685-2011 电子工业纯水系统设计规范.pdf
《GB50685-2011 电子工业纯水系统设计规范》是根据电子工业对高纯水质量的严格要求而制定的国家强制性标准，适用于电子工业中涉及芯片制造、显示面板生产、半导体工艺等领域的纯水系统设计。该规范详细规定了纯水系统的水质要求、工艺流程选择、设备配置、管路设计、自动化控制以及运行维护等方面的技术内容，旨在确保系统的可靠性、稳定性和经济性。通过统一设计标准，可有效提升电子产品的生产质量与成品率，降低能耗与运维成本，为电子工业的可持续发展提供重要技术支撑。
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