GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范.pdf
《GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范》是国家强制性标准，适用于半导体芯片制造企业的工程设计。该规范系统规定了芯片工厂在工艺布局、洁净环境、微振动控制、防火防爆、防静电、废水废气处理等方面的技术要求，为高精度、高可靠性的集成电路制造提供了标准化的建设依据。内容涵盖从选址条件到建筑结构、公用设施配套以及安全生产等全流程，具有指导工程设计、施工验收和运行维护的重要参考价值。规范的执行有助于提升芯片工厂的技术水平，保障产品质量和生产安全，对我国集成电路产业的高质量发展具有积极推动作用。
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