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JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管.pdf

10个月前 (04-21)标准规范
本文详细介绍了中国建材行业标准JCT597-2011《半导体用透明石英玻璃管》的技术内容。该标准规定了半导体制造领域所用透明石英玻璃管的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。它为相关产品的生产、检验和质量控制提供了权威依据,对保障半导体材料的纯净度与工艺稳定性具有重要指导价值。
《JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管》是针对半导体制造行业所需石英玻璃管材料的技术规范标准。该标准详细规定了半导体工业用透明石英玻璃管的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和贮存等内容。标准适用于以天然石英砂或合成石英为原料,经高温熔融制成的透明石英玻璃管,主要用于半导体生产过程中的扩散、氧化、蚀刻等高温工艺环境。通过明确产品的尺寸公差、外观质量、理化性能等关键指标,该标准为半导体用石英玻璃管的生产和质量控制提供了统一的技术依据,对保障半导体器件制造的稳定性与可靠性具有重要指导意义。

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