GB50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdf
《GB50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》是我国微电子制造行业的重要技术标准文件，规范了微电子生产设备从安装调试到最终验收的一系列技术要求。该规范详细规定了设备基础施工、安装流程、环境控制、电气及管道系统配置等关键环节的操作标准，并对微电子生产所特有的洁净度、防振、温湿度控制等技术指标提出严格规定。通过标准化施工程序与检测方法，本规范旨在保障微电子生产设备安装质量，确保设备运行稳定性和产品良率，对提升微电子制造业的工艺水平和产品质量具有重要指导意义。该文件为工程设计、施工及验收单位提供了明确的技术依据，是微电子厂房建设领域不可或缺的权威参考资料。
文件名称：GB50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdf
文件类型：PDF
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