JCT2372-2016 集成电路用石英舟.pdf
本文介绍了行业标准《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》的详细内容。该标准规定了石英舟的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等要求，适用于半导体集成电路制造工艺中使用的石英舟。它为产品的生产、检验和质量控制提供了统一规范，对保障集成电路生产环节的可靠性与一致性具有重要指导意义。
《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》是一项行业技术标准文件，详细规定了集成电路制造过程中使用的石英舟的技术要求、试验方法、检验规则及包装储存等内容。该标准适用于高纯度石英材料制成的舟形容器，主要用于半导体晶圆在高温工艺中的承载与传送。文件明确了产品的尺寸精度、耐热性能、化学稳定性等关键指标，为生产企业和用户提供了统一的质量评价依据。通过规范石英舟的生产与应用，本标准对保障集成电路工艺稳定性、提高产品良率具有重要指导意义，同时也为行业质量管理和技术升级奠定了坚实基础。
《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》是一项行业技术标准文件，详细规定了集成电路制造过程中使用的石英舟的技术要求、试验方法、检验规则及包装储存等内容。该标准适用于高纯度石英材料制成的舟形容器，主要用于半导体晶圆在高温工艺中的承载与传送。文件明确了产品的尺寸精度、耐热性能、化学稳定性等关键指标，为生产企业和用户提供了统一的质量评价依据。通过规范石英舟的生产与应用，本标准对保障集成电路工艺稳定性、提高产品良率具有重要指导意义，同时也为行业质量管理和技术升级奠定了坚实基础。
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